中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)秘書(shū)長(zhǎng)蒞臨沈陽(yáng)科儀公司
發(fā)布時(shí)間: 2008-07-21
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6月19日，中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)秘書(shū)長(zhǎng)徐小田，在沈陽(yáng)市經(jīng)委于浩處長(zhǎng)、沈陽(yáng)國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)新加坡工業(yè)園管委會(huì)楊琦副主任等領(lǐng)導(dǎo)的陪同下，蒞臨沈陽(yáng)科儀參觀指導(dǎo)。 沈陽(yáng)科儀公司常務(wù)副總裁李昌龍、副總裁張振厚首先向徐秘書(shū)長(zhǎng)簡(jiǎn)要介紹了公司概況，隨后陪同來(lái)訪領(lǐng)導(dǎo)參觀了PECVD事業(yè)部和潔凈間。徐秘書(shū)長(zhǎng)饒有興趣地聽(tīng)取了PECVD事業(yè)部總經(jīng)理姜謙博士對(duì)PECVD設(shè)備研發(fā)進(jìn)展情況的介紹，并詳細(xì)詢問(wèn)了設(shè)備的壽命實(shí)驗(yàn)、市場(chǎng)銷(xiāo)售等情況。在參觀了IC裝備零部件等產(chǎn)品裝配現(xiàn)場(chǎng)后，徐秘書(shū)長(zhǎng)建議在第六屆中國(guó)國(guó)際集成電路博覽會(huì)暨高峰論壇（IC China 2008）等展會(huì)上，對(duì)PECVD整機(jī)設(shè)備以及羅茨干泵（機(jī)組）、渦旋干泵、超高真空閘板閥等IC裝備關(guān)鍵部件做一個(gè)專題報(bào)告，進(jìn)一步推動(dòng)IC裝備及零部件的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。
