期刊封面展現(xiàn)采用微滴DEP裝配技術(shù)在納米線拉伸特殊微動(dòng)機(jī)構(gòu)芯片上進(jìn)行Cu納米線裝配的過(guò)程
我國(guó)自然科學(xué)領(lǐng)域重要權(quán)威學(xué)術(shù)期刊《科學(xué)通報(bào)》，在時(shí)隔9個(gè)月之后，再一次在最新一期以封面專題的形式(Vol. 59 (7): 623-629, 2014)報(bào)道了中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所微納米課題組在超高懸空微動(dòng)電極上裝配納米線的科研成果。這是繼多次在國(guó)際期刊Applied Physics Letters、Acta Physico-Chimica Sinica，國(guó)內(nèi)期刊《科學(xué)通報(bào)》、《中國(guó)科學(xué)》封面刊載之后，沈陽(yáng)自動(dòng)化所科研成果再次獲得自然科學(xué)領(lǐng)域權(quán)威刊物封面刊載，再次表明沈陽(yáng)自動(dòng)化所的創(chuàng)新能力與研究實(shí)力得到科學(xué)界同仁的肯定與重視。
納米線拉伸特殊微動(dòng)機(jī)構(gòu)芯片是一類通過(guò)MEMS工藝設(shè)計(jì)和制造的微電極拉伸測(cè)試機(jī)構(gòu)，可以通過(guò)熱驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)或電驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)加載作用力于拉伸電極上，該電極具有超高、懸空和微動(dòng)的特點(diǎn)。將納米線裝配于該電極上，可以進(jìn)行單納米線拉伸動(dòng)態(tài)特性及原子鏈拉伸制造的研究，研究其在拉伸狀態(tài)下的動(dòng)態(tài)特性變化及單原子鏈狀態(tài)下的特殊性質(zhì)以向原子器件制造方向發(fā)展，是目前納米科學(xué)的前沿研究課題之一，但目前沒有一套有效的方案來(lái)實(shí)現(xiàn)將單根納米線置于可拉伸的微動(dòng)機(jī)構(gòu)上以進(jìn)行拉伸。
介電泳（DEP）方法是一種簡(jiǎn)單快速有效并且可以規(guī)?；淖韵露涎b配納米器件的技術(shù)。微納米課題組在傳統(tǒng)的介電泳技術(shù)的基礎(chǔ)上，開發(fā)了一種微滴DEP裝配技術(shù)與實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，并借助理論分析與仿真，成功實(shí)現(xiàn)了納米線在拉伸特殊微動(dòng)機(jī)構(gòu)芯片上的裝配，為最終實(shí)現(xiàn)納米線的拉伸及原子鏈拉伸制造研究邁出最關(guān)鍵的一步，并且大大拓展了介電泳技術(shù)的應(yīng)用范圍。這些技術(shù)難點(diǎn)的突破和研究成果的報(bào)道都體現(xiàn)了沈陽(yáng)自動(dòng)化所微納米課題組在微納米器件的裝配與制造領(lǐng)域的研究實(shí)力。
《科學(xué)通報(bào)》封面圖片展現(xiàn)的是采用微滴DEP裝配技術(shù)在納米線拉伸特殊微動(dòng)機(jī)構(gòu)芯片上進(jìn)行Cu納米線裝配的過(guò)程。通過(guò)可控的微滴釋放技術(shù)、精確的定位技術(shù)、電極表面處理等一系列技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了單根Cu納米線在超高懸空微動(dòng)電極上的裝配。（機(jī)器人學(xué)研究室）
