由中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司（以下簡稱沈陽科儀）承擔(dān)實施的“十一五”國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”——“干泵與系列真空閥門產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目于2015年4月通過驗收。
該項目產(chǎn)品繼今年6月通過中芯國際（深圳）8寸生產(chǎn)線測試并實現(xiàn)批量采購后，又分別通過了中芯國際（北京）12寸生產(chǎn)線和武漢新芯12寸生產(chǎn)線PVD工藝測試。11月25日，沈陽科儀按期交付中芯國際（北京）第一批真空干泵28臺采購訂單，打破了國外產(chǎn)品在該領(lǐng)域持續(xù)多年的強(qiáng)力壟斷，成功實現(xiàn)了國產(chǎn)化替代。產(chǎn)品經(jīng)過產(chǎn)業(yè)化驗證和應(yīng)用，性能穩(wěn)定，服務(wù)和產(chǎn)品價格與國外同類產(chǎn)品相比具有明顯優(yōu)勢，不但能夠為國產(chǎn)集成電路工藝設(shè)備提供核心附屬設(shè)備，也可以在進(jìn)口工藝設(shè)備上進(jìn)行替換使用。
目前，沈陽科儀是國內(nèi)唯一能夠為集成電路工藝設(shè)備制造廠商和FAB工廠批量生產(chǎn)真空干泵的廠家。未來幾年，國內(nèi)規(guī)劃建設(shè)的12寸晶圓制造廠達(dá)到10座以上，真空干泵的市場需求潛力巨大，需求量達(dá)5萬臺以上。沈陽科儀將持續(xù)努力，為實現(xiàn)我國在該領(lǐng)域的崛起貢獻(xiàn)出自己的一份力量。
