6月12日，沈陽分院以“引領(lǐng)真空技術(shù)，支撐科技創(chuàng)新，促進(jìn)泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展”為主題，舉辦第九期“中國科學(xué)院沈陽分院科技成果云講堂”，為遼魯兩省集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供科技支撐。
本期云講堂特邀到中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司佟雷、孔祥玲兩位研究員，他們圍繞“真空科研儀器設(shè)備簡介”和“面向半導(dǎo)體領(lǐng)域的真空干泵產(chǎn)品的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”做了專題講座，共有163個(gè)異地會(huì)場組織收看了現(xiàn)場直播。
集成電路產(chǎn)業(yè)是遼寧、山東兩省重要的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，沈陽分院結(jié)合自身科技優(yōu)勢，推進(jìn)產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新，推動(dòng)科技成果與遼魯兩省集成電路產(chǎn)業(yè)鏈深度融合，提升高精尖產(chǎn)品的本地配套能力，促進(jìn)遼魯兩省制造業(yè)水平整體增強(qiáng)。本期云講堂發(fā)布的真空技術(shù)領(lǐng)域科技成果，是集成電路產(chǎn)業(yè)重要的配套技術(shù)，為遼魯兩省打造集成電路戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)集群提供了科技支撐。
佟雷作報(bào)告
孔祥玲作報(bào)告
