國(guó)家發(fā)改委高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化示范工程項(xiàng)目——“IC成膜PECVD設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”順利通過(guò)驗(yàn)收
發(fā)布時(shí)間: 2008-06-20
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遼寧省發(fā)展和改革委員會(huì)于2008年6月16日，在沈陽(yáng)市主持召開(kāi)了“IC成膜PECVD設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目驗(yàn)收會(huì)。該項(xiàng)目是由中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司承擔(dān)的國(guó)家高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化示范工程項(xiàng)目。驗(yàn)收委員會(huì)認(rèn)真聽(tīng)取、審閱了項(xiàng)目驗(yàn)收?qǐng)?bào)告及相關(guān)資料，并對(duì)建設(shè)現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行了考察，經(jīng)質(zhì)詢(xún)和討論，一致同意該項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收。
驗(yàn)收意見(jiàn)中指出：沈陽(yáng)科儀公司完成了國(guó)家發(fā)展改革委復(fù)函中所確定的建設(shè)內(nèi)容。在6英寸PECVD設(shè)備控制系統(tǒng)軟硬件設(shè)計(jì)和零部件國(guó)產(chǎn)化方面實(shí)現(xiàn)了突破，零部件國(guó)產(chǎn)化率達(dá)到70%以上，整機(jī)性能達(dá)到或超過(guò)國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品水平。產(chǎn)品填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，實(shí)現(xiàn)了替代進(jìn)口。
會(huì)議主持人遼寧省發(fā)改委高技術(shù)處副處長(zhǎng)王幼學(xué)表示，沈陽(yáng)科儀公司已承擔(dān)多項(xiàng)國(guó)家發(fā)改委IC裝備相關(guān)項(xiàng)目，完成的非常好，均已順利通過(guò)驗(yàn)收。通過(guò)項(xiàng)目實(shí)施，充分展現(xiàn)了沈陽(yáng)科儀公司經(jīng)營(yíng)、管理的嚴(yán)謹(jǐn)與規(guī)范，也可以看出公司的綜合實(shí)力和美好的發(fā)展前景。目前，沈陽(yáng)市渾南新區(qū)正在建設(shè)IC裝備制造產(chǎn)業(yè)基地，沈陽(yáng)科儀公司是其中的骨干企業(yè)，希望公司加快發(fā)展，為遼沈地區(qū)IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展作出更大貢獻(xiàn)。（沈陽(yáng)科儀公司供稿）
