中國科學院沈陽自動化研究所持股公司——沈陽芯源微電子設備有限公司（以下簡稱芯源公司）連續(xù)完成國家“十一五”、“十二五”02重大專項任務，產(chǎn)業(yè)化成果顯著，高端封裝專用涂膠顯影設備和LED涂膠顯影設備國內(nèi)市場占有率超過50%，成為國內(nèi)客戶的主流首選設備。近日芯源公司又傳來捷報，截至2016年6月30日，批量銷往臺灣國際一線大廠的12寸晶圓級封裝設備全部通過驗收。
2015年第四季度，芯源公司通過了臺灣大客戶的嚴苛評估，一次性拿到20多臺的12寸晶圓級封裝設備訂單。2016年1月至4月，芯源公司按臺灣客戶進度要求分批出貨到現(xiàn)場，分批安裝調(diào)試。目前，設備陸續(xù)驗收后已全部投入批量生產(chǎn)。
芯源公司提供給臺灣大客戶的批量設備采用雙機械手4腔堆疊式結構，占地小、產(chǎn)能高，能適應多種光刻膠的涂覆、烘焙和顯影。設備用于Fan Out晶圓級封裝工藝生產(chǎn)線。
芯源公司設備在與國際大公司的激烈競爭中脫穎而出，拿到國際一線大廠的批量訂單并按期交付，通過了臺灣大客戶的考核，全部順利驗收，這極大地提升了芯源公司的批量生產(chǎn)能力、供應鏈建設、工藝應用、質量控制、批量設備一致性、穩(wěn)定性和售后服務響應能力，帶動了企業(yè)快速成長、提升了企業(yè)核心競爭力。這些進展是02科技重大專項持續(xù)支持取得的成效，也是國產(chǎn)IC裝備產(chǎn)業(yè)化進程中令人振奮的重大突破。（芯源公司）
