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  10月21日,上海證券交易所科創(chuàng)板上市委員會召開了2019年第35次審議會議,根據審議結果顯示,中國科學院沈陽自動化研究所投資參股企業(yè)——沈陽芯源微電子設備股份有限公司(以下簡稱“芯源公司”)首發(fā)獲通過,是中國科學院第一家科創(chuàng)板首發(fā)獲通過的公司。這意味著在不久的將來沈陽自動化所又一家投資參股企業(yè)將成為上市企業(yè)。

  芯源公司成立于2002年,在17年的發(fā)展歷程中,秉承“市場引領,技術為本”的宗旨,不斷在半導體裝備領域探索新的高度。目前,芯源公司擁有自主知識產權,取得300余項核心技術專利,其自主開發(fā)的單片勻膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、清洗機等設備,廣泛應用于半導體、先進封裝、MEMS、LED等領域。研制的12英寸TRACK系統整機,已經在12寸主流生產線應用,擁有近百家業(yè)內客戶,在LED勻膠顯影設備領域占領國內市場份額超過60%。(科技處)

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