匯報現(xiàn)場
1月27日至1月28日，02專項辦公室、科技部重大專項辦公室的領(lǐng)導(dǎo)和專家對中國科學(xué)院沈陽自動化研究所承擔(dān)的國家科技重大專項（02專項）子課題“鋁合金真空電子束焊接工藝研究”進行了驗收。經(jīng)查閱資料、現(xiàn)場匯報、現(xiàn)場質(zhì)詢和現(xiàn)場測試等環(huán)節(jié)，課題順利通過了驗收。
目前，IC裝備中的鋁合金零件，特別是腔體類零件大多數(shù)為中厚板材整體銑削而成，雖然保證了鋁合金零部件的可靠性，但同時帶來了極大的浪費。為此，課題組系統(tǒng)研究了真空電子束設(shè)備、焊接工藝、管理體系等對焊接質(zhì)量的影響，開發(fā)了相應(yīng)腔體的真空電子束焊接工藝，為我國IC裝備及TFT大型面板裝備等超大型鋁合金零部件制造提供了低成本解決方案，并縮短了IC裝備真空腔體的制造周期，為IC裝備制造業(yè)發(fā)展起到支撐和促進作用。（裝備制造技術(shù)研究室）
