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　　水導(dǎo)激光誘導(dǎo)的等離子體及沖擊波的作用

　　 

　　水導(dǎo)激光誘導(dǎo)的等離子體特征譜線（Fe）及沖擊波作用

　　近日，中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所在水導(dǎo)激光加工研究方面取得了新進(jìn)展。相關(guān)研究成果發(fā)表在Journal of Manufacturing Processes。

　　基于自主研發(fā)的大功率五軸水導(dǎo)激光加工裝備, 科研團(tuán)隊(duì)開(kāi)展了高溫合金水導(dǎo)激光加工機(jī)理探索，發(fā)現(xiàn)加工過(guò)程中存在較強(qiáng)的等離子體及等離子體沖擊波，為進(jìn)一步豐富和完善水導(dǎo)激光加工理論提供了重要依據(jù)，并提出了基于等離子體爆轟波的孔口毛刺去除方法，使孔口毛刺尺寸減小了57.89%，有效提高了水導(dǎo)激光加工質(zhì)量與效率。

　　近年來(lái)，沈陽(yáng)自動(dòng)化所水導(dǎo)激光科研團(tuán)隊(duì)在加工機(jī)理、加工裝備研究方向持續(xù)發(fā)力，研制了直徑40-120 m、載能達(dá)2.5GW/cm2的系列化加工頭，形成20余項(xiàng)核心專(zhuān)利，在Materials Today Communications (2020), Optics and Laser Technology (2021), Micromachines (2021), The International Journal of Advanced Manufacturing Technology (2021)等國(guó)際期刊上發(fā)表多篇論文。利用自研的水導(dǎo)激光加工裝備，生產(chǎn)了多種金屬、陶瓷、半導(dǎo)體、金剛石及復(fù)合材料零件，尺寸精度優(yōu)于 4um，切面粗糙度Ra優(yōu)于0.8 m，鎳基高溫合金斜孔加工效率達(dá)3 hole/min，完成了某型雷達(dá)配套組件的生產(chǎn)任務(wù)，獲得了用戶(hù)的認(rèn)可。